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摻雜與熱處理對(duì)VO2膜的微觀結(jié)構(gòu)及可見(jiàn)光透過(guò)率的影響
關(guān)鍵詞：二氧化釩 薄膜 摻雜 熱處理
摘要：采用溶膠凝膠法制備了鎢摻雜和不摻雜的二氧化釩薄膜,研究了不同退火溫度、退火時(shí)間對(duì)薄膜微觀結(jié)構(gòu)的影響,以及不同摻雜量的鎢離子對(duì)薄膜可見(jiàn)光透過(guò)率的影響。XRD結(jié)果表明:薄膜樣品為VO2(M)相結(jié)構(gòu);SEM結(jié)果分析表明:薄膜晶粒尺寸大小和間距隨退火溫度的升高、退火時(shí)間的增加而變大;UV-vis測(cè)試結(jié)果表明:與未摻雜氧化釩薄膜相比,W離子摻雜有利于提高VO2薄膜可見(jiàn)光的透過(guò)率,在400nm處透過(guò)率從47%增加到67%,在VO2薄膜表面涂覆SiO2膜,該涂層可以提高可見(jiàn)光的透過(guò)率(在600nm附近提高3%)。
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