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關(guān)鍵詞：金剛石 探測器 氮雜質(zhì) 位錯密度 

摘要：采用高質(zhì)量高溫高壓單晶金剛石襯底,通過等離子體環(huán)境凈化的方法獲得高純、低缺陷密度金剛石材料,有望應(yīng)用于醫(yī)療、核、宇宙射線等輻射探測器。采用微波化學(xué)氣相沉積方法成功外延生長出了8 mm×8 mm的高質(zhì)量單晶金剛石材料。晶體內(nèi)無明顯的應(yīng)力集中區(qū),X射線搖擺曲線(004)峰半高寬0. 008°,PL光譜中未見與氮相關(guān)雜質(zhì),基于電子順磁共振測試孤氮雜質(zhì)含量為23ppb。

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