半導(dǎo)體加工中的材料科學(xué)（Materials Science In Semiconductor Processing）在中科院分區(qū)中位于3區(qū)，JCR分區(qū)位于Q2。審稿速度一般為 約1.7個(gè)月 約3.7周，且近兩年沒(méi)有被列入國(guó)際預(yù)警名單，您可以放心投稿。如果您需要投稿指導(dǎo)，可在線咨詢我們的客服老師，我們將竭誠(chéng)為您服務(wù)。

《半導(dǎo)體加工中的材料科學(xué)》為討論（光）電子、傳感器、探測(cè)器、生物技術(shù)和綠色能源的功能材料和器件的新型加工、應(yīng)用和理論研究提供了一個(gè)獨(dú)特的論壇。

每期都旨在提供當(dāng)前見(jiàn)解、新成就、突破和未來(lái)趨勢(shì)的快照，涉及微電子、能量轉(zhuǎn)換和存儲(chǔ)、通信、生物技術(shù)、（光）催化、納米和薄膜技術(shù)、混合和復(fù)合材料、化學(xué)加工、氣相沉積、器件制造和建模等不同領(lǐng)域，這些領(lǐng)域是先進(jìn)半導(dǎo)體加工和應(yīng)用的支柱。

內(nèi)容包括：亞微米器件的先進(jìn)光刻技術(shù)；蝕刻及相關(guān)主題；離子注入；損傷演變和相關(guān)問(wèn)題；等離子體和熱 CVD；快速熱處理；先進(jìn)的金屬化和互連方案；薄介電層、氧化；溶膠-凝膠處理；化學(xué)浴和（電）化學(xué)沉積；復(fù)合半導(dǎo)體加工；新型非氧化物材料及其應(yīng)用； (大)分子和混合材料；分子動(dòng)力學(xué)、從頭算方法、蒙特卡羅等；分立電路和集成電路的新材料和新工藝；磁性材料和自旋電子學(xué)；異質(zhì)結(jié)構(gòu)和量子器件；半導(dǎo)體電學(xué)和光學(xué)特性的工程；晶體生長(zhǎng)機(jī)制；可靠性、缺陷密度、固有雜質(zhì)和缺陷。