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集成電路工藝用過氧化氫中雜質(zhì)元素的檢測方法

李春華; 田玉平; 高艷秋 上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院

關(guān)鍵詞:電子級(jí) 過氧化氫 高分辨質(zhì)譜 

摘要:

上海計(jì)量測試雜志要求:

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{3}參考文獻(xiàn)應(yīng)以作者親自閱讀的近5年內(nèi)文獻(xiàn)為主,按引用的先后順序列出。

{4}中文摘要300~500字,是以第三人稱對(duì)文中觀點(diǎn)進(jìn)行概括,能簡明反映論文的主要內(nèi)容信息。關(guān)鍵詞3~6個(gè)為宜。

{5}作者簡介:姓名,出生年,性別,籍貫,單位(大小單位都要寫清,如:安徽大學(xué)外語學(xué)院)及所在省市、郵編,職稱或?qū)W位。

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