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多叉指Rayleigh波器件的建模及特性研究
文常保; 牛濤濤; 王蒙; 洪吉童; 巨永鋒 長安大學電子與控制工程學院微納電子研究所; 陜西西安710064
關鍵詞：多叉指換能器 rayleigh波 有限元分析 三維建模 模態(tài)分析
摘要：針對目前改變Rayleigh波器件中波的傳播方向和強度較復雜的問題,提出了一種多叉指Rayleigh波器件結構和三維建模方案。該三維建模方案用有限元分析法去逼近實際器件的壓電基片和叉指換能器等真實器件結構和尺寸。選取壓電基片材料為128°YX-LiNbO3、叉指換能器為Al電極,分別對叉指換能器數目為4、6、8的多叉指Rayleigh波器件進行三維模型實驗,驗證了該器件的可行性。實驗結果表明,多叉指Rayleigh波器件可以在不同角度激發(fā)Rayleigh波,該波只有x、y方向的質點位移分量,且質點的最大位移主要集中在器件表面的中心位置。此外,器件的模態(tài)頻率和質點最大位移隨著叉指換能器數目的增加而增大,由此產生的Rayleigh波強度和器件的混合性能也會增強。
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