購物車(0)
光柵精密位移測量技術發(fā)展綜述
關鍵詞：位移測量 光柵 高精度測量 衍射干涉
摘要：精密測量是精密機械加工的基礎,是制造行業(yè)中影響制造精度的決定性因素之一,在當代精密機械制造領域應用廣泛?；诠鈻诺木芪灰茰y量系統(tǒng)以其對環(huán)境要求小,測量分辨率高等優(yōu)點,在精密位移測量領域占據(jù)重要位置。基于光柵的精密位移測量系統(tǒng)包括光學測量系統(tǒng)、信號接收、電子學細分及整體裝調(diào)幾部分。本文主要針對光學測量光路部分進行綜述介紹。首先介紹了經(jīng)典光柵干涉位移測量原理;其次,綜述了基于光柵的精密位移測量系統(tǒng)的關鍵技術現(xiàn)狀;再次,對比分析了幾種最具有代表性的測量技術,總結其優(yōu)缺點;最后,對基于光柵的精密位移測量技術進行展望,揭示其高精度、高分辨力、高魯棒性、微型化、多維化、多技術融合的發(fā)展趨勢。
中國光學雜志要求:
{1}參考文獻：采用順序編碼制，按照正文中出現(xiàn)次序列于文后。以參考文獻：(左頂格)作為標識；序號（左頂格）用阿拉伯數(shù)字加方括號標示；每一條目的最后均以實心點結束。
{2}論文章請?zhí)峁﹥?nèi)容提要和關鍵詞。內(nèi)容提要請?zhí)峁┲杏⑽陌姹?，要求體現(xiàn)作者的主要觀點，行文流暢、簡潔、客觀、規(guī)范。
{3}數(shù)據(jù)與表格:文中有計量意義的數(shù)據(jù)均應使用阿拉伯數(shù)字，數(shù)據(jù)核對應準確無誤，需要時應進行統(tǒng)計學處理，統(tǒng)計學符號均用斜體。
{4}注釋與引文參考文獻統(tǒng)一編號混排于當頁頁腳下。
{5}請確保文章符合研究倫理，注意保護研究參與者和其他利益相關人的隱私與權利。
注：因版權方要求，不能公開全文，如需全文，請咨詢雜志社
