導(dǎo)言：作為寫作愛好者，不可錯過為您精心挑選的10篇微電子學(xué)論文，它們將為您的寫作提供全新的視角，我們衷心期待您的閱讀，并希望這些內(nèi)容能為您提供靈感和參考。

篇1

1引言

綜觀人類社會發(fā)展的文明史，一切生產(chǎn)方式和生活方式的重大變革都是由于新的科學(xué)發(fā)現(xiàn)和新技術(shù)的產(chǎn)生而引發(fā)的，科學(xué)技術(shù)作為革命的力量，推動著人類社會向前發(fā)展。從50多年前晶體管的發(fā)明到目前微電子技術(shù)成為整個信息社會的基礎(chǔ)和核心的發(fā)展歷史充分證明了“科學(xué)技術(shù)是第一生產(chǎn)力”。信息是客觀事物狀態(tài)和運動特征的一種普遍形式，與材料和能源一起是人類社會的重要資源，但對它的利用卻僅僅是開始。當(dāng)前面臨的信息革命以數(shù)字化和網(wǎng)絡(luò)化作為特征。數(shù)字化大大改善了人們對信息的利用，更好地滿足了人們對信息的需求；而網(wǎng)絡(luò)化則使人們更為方便地交換信息，使整個地球成為一個“地球村”。以數(shù)字化和網(wǎng)絡(luò)化為特征的信息技術(shù)同一般技術(shù)不同，它具有極強的滲透性和基礎(chǔ)性，它可以滲透和改造各種產(chǎn)業(yè)和行業(yè)，改變著人類的生產(chǎn)和生活方式，改變著經(jīng)濟(jì)形態(tài)和社會、政治、文化等各個領(lǐng)域。而它的基礎(chǔ)之一就是微電子技術(shù)。可以毫不夸張地說，沒有微電子技術(shù)的進(jìn)步，就不可能有今天信息技術(shù)的蓬勃發(fā)展，微電子已經(jīng)成為整個信息社會發(fā)展的基石。

50多年來微電子技術(shù)的發(fā)展歷史，實際上就是不斷創(chuàng)新的過程，這里指的創(chuàng)新包括原始創(chuàng)新、技術(shù)創(chuàng)新和應(yīng)用創(chuàng)新等。晶體管的發(fā)明并不是一個孤立的精心設(shè)計的實驗，而是一系列固體物理、半導(dǎo)體物理、材料科學(xué)等取得重大突破后的必然結(jié)果。1947年發(fā)明點接觸型晶體管、1948年發(fā)明結(jié)型場效應(yīng)晶體管以及以后的硅平面工藝、集成電路、CMOS技術(shù)、半導(dǎo)體隨機存儲器、CPU、非揮發(fā)存儲器等微電子領(lǐng)域的重大發(fā)明也都是一系列創(chuàng)新成果的體現(xiàn)。同時，每一項重大發(fā)明又都開拓出一個新的領(lǐng)域，帶來了新的巨大市場，對我們的生產(chǎn)、生活方式產(chǎn)生了重大的影響。也正是由于微電子技術(shù)領(lǐng)域的不斷創(chuàng)新，才能使微電子能夠以每三年集成度翻兩番、特征尺寸縮小倍的速度持續(xù)發(fā)展幾十年。自1968年開始，與硅技術(shù)有關(guān)的學(xué)術(shù)論文數(shù)量已經(jīng)超過了與鋼鐵有關(guān)的學(xué)術(shù)論文，所以有人認(rèn)為，1968年以后人類進(jìn)入了繼石器、青銅器、鐵器時代之后硅石時代（siliconage）〖1〗。因此可以說社會發(fā)展的本質(zhì)是創(chuàng)新，沒有創(chuàng)新，社會就只能被囚禁在“超穩(wěn)態(tài)”陷阱之中。雖然創(chuàng)新作為經(jīng)濟(jì)發(fā)展的改革動力往往會給社會帶來“創(chuàng)造性的破壞”，但經(jīng)過這種破壞后，又將開始一個新的處于更高層次的創(chuàng)新循環(huán)，社會就是以這樣螺旋形上升的方式向前發(fā)展。

在微電子技術(shù)發(fā)展的前50年，創(chuàng)新起到了決定性的作用，而今后微電子技術(shù)的發(fā)展仍將依賴于一系列創(chuàng)新性成果的出現(xiàn)。我們認(rèn)為：目前微電子技術(shù)已經(jīng)發(fā)展到了一個很關(guān)鍵的時期，21世紀(jì)上半葉，也就是今后50年微電子技術(shù)的發(fā)展趨勢和主要的創(chuàng)新領(lǐng)域主要有以下四個方面：以硅基CMOS電路為主流工藝；系統(tǒng)芯片（SystemOnAChip，SOC）為發(fā)展重點；量子電子器件和以分子（原子）自組裝技術(shù)為基礎(chǔ)的納米電子學(xué)；與其他學(xué)科的結(jié)合誕生新的技術(shù)增長點，如MEMS，DNAChip等。

221世紀(jì)上半葉仍將以硅基CMOS電路為主流工藝

微電子技術(shù)發(fā)展的目標(biāo)是不斷提高集成系統(tǒng)的性能及性能價格比，因此便要求提高芯片的集成度，這是不斷縮小半導(dǎo)體器件特征尺寸的動力源泉。以MOS技術(shù)為例，溝道長度縮小可以提高集成電路的速度；同時縮小溝道長度和寬度還可減小器件尺寸，提高集成度，從而在芯片上集成更多數(shù)目的晶體管，將結(jié)構(gòu)更加復(fù)雜、性能更加完善的電子系統(tǒng)集成在一個芯片上；此外，隨著集成度的提高，系統(tǒng)的速度和可靠性也大大提高，價格大幅度下降。由于片內(nèi)信號的延遲總小于芯片間的信號延遲，這樣在器件尺寸縮小后，即使器件本身的性能沒有提高，整個集成系統(tǒng)的性能也可以得到很大的提高。

自1958年集成電路發(fā)明以來，為了提高電子系統(tǒng)的性能，降低成本，微電子器件的特征尺寸不斷縮小，加工精度不斷提高，同時硅片的面積不斷增大。集成電路芯片的發(fā)展基本上遵循了Intel公司創(chuàng)始人之一的GordonE．Moore1965年預(yù)言的摩爾定律，即每隔三年集成度增加4倍，特征尺寸縮小倍。在這期間，雖然有很多人預(yù)測這種發(fā)展趨勢將減緩，但是微電子產(chǎn)業(yè)三十多年來發(fā)展的狀況證實了Moore的預(yù)言[2]。而且根據(jù)我們的預(yù)測，微電子技術(shù)的這種發(fā)展趨勢還將在21世紀(jì)繼續(xù)一段時期，這是其它任何產(chǎn)業(yè)都無法與之比擬的。

現(xiàn)在，0．18微米CMOS工藝技術(shù)已成為微電子產(chǎn)業(yè)的主流技術(shù)，0．035微米乃至0．020微米的器件已在實驗室中制備成功，研究工作已進(jìn)入亞0．1微米技術(shù)階段，相應(yīng)的柵氧化層厚度只有2．0～1．0nm。預(yù)計到2010年，特征尺寸為0．05～0．07微米的64GDRAM產(chǎn)品將投入批量生產(chǎn)。

21世紀(jì)，起碼是21世紀(jì)上半葉,微電子生產(chǎn)技術(shù)仍將以尺寸不斷縮小的硅基CMOS工藝技術(shù)為主流。盡管微電子學(xué)在化合物和其它新材料方面的研究取得了很大進(jìn)展；但還不具備替代硅基工藝的條件。根據(jù)科學(xué)技術(shù)的發(fā)展規(guī)律，一種新技術(shù)從誕生到成為主流技術(shù)一般需要20到30年的時間，硅集成電路技術(shù)自1947年發(fā)明晶體管1958年發(fā)明集成電路,到60年代末發(fā)展成為大產(chǎn)業(yè)也經(jīng)歷了20多年的時間。另外，全世界數(shù)以萬億美元計的設(shè)備和技術(shù)投入，已使硅基工藝形成非常強大的產(chǎn)業(yè)能力；同時，長期的科研投入已使人們對硅及其衍生物各種屬性的了解達(dá)到十分深入、十分透徹的地步，成為自然界100多種元素之最，這是非常寶貴的知識積累。產(chǎn)業(yè)能力和知識積累決定了硅基工藝起碼將在50年內(nèi)仍起重要作用，人們不會輕易放棄。

目前很多人認(rèn)為當(dāng)微電子技術(shù)的特征尺寸在2015年達(dá)到0．030～0．015微米的“極限”之后，將是硅技術(shù)時代的結(jié)束，這實際上是一種誤解。且不說微電子技術(shù)除了以特征尺寸為代表的加工工藝技術(shù)之外，還有設(shè)計技術(shù)、系統(tǒng)結(jié)構(gòu)等方面需要進(jìn)一步的大力發(fā)展，這些技術(shù)的發(fā)展必將使微電子產(chǎn)業(yè)繼續(xù)高速增長。即使是加工工藝技術(shù)，很多著名的微電子學(xué)家也預(yù)測，微電子產(chǎn)業(yè)將于2030年左右步入像汽車工業(yè)、航空工業(yè)這樣的比較成熟的朝陽工業(yè)領(lǐng)域。即使微電子產(chǎn)業(yè)步入汽車、航空等成熟工業(yè)領(lǐng)域，它仍將保持快速發(fā)展趨勢，就像汽車、航空工業(yè)已經(jīng)發(fā)展了50多年仍極具發(fā)展?jié)摿σ粯印?/p>

隨著器件的特征尺寸越來越小，不可避免地會遇到器件結(jié)構(gòu)、關(guān)鍵工藝、集成技術(shù)以及材料等方面的一系列問題，究其原因，主要是：對其中的物理規(guī)律等科學(xué)問題的認(rèn)識還停留在集成電路誕生和發(fā)展初期所形成的經(jīng)典或半經(jīng)典理論基礎(chǔ)上，這些理論適合于描述微米量級的微電子器件，但對空間尺度為納米量級、空間尺度為飛秒量級的系統(tǒng)芯片中的新器件則難以適用；在材料體系上，SiO2柵介質(zhì)材料、多晶硅／硅化物柵電極等傳統(tǒng)材料由于受到材料特性的制約，已無法滿足亞50納米器件及電路的需求；同時傳統(tǒng)器件結(jié)構(gòu)也已無法滿足亞50納米器件的要求，必須發(fā)展新型的器件結(jié)構(gòu)和微細(xì)加工、互連、集成等關(guān)鍵工藝技術(shù)。具體的需要創(chuàng)新和重點發(fā)展的領(lǐng)域包括：基于介觀和量子物理基礎(chǔ)的半導(dǎo)體器件的輸運理論、器件模型、模擬和仿真軟件，新型器件結(jié)構(gòu)，高k柵介質(zhì)材料和新型柵結(jié)構(gòu)，電子束步進(jìn)光刻、13nmEUV光刻、超細(xì)線條刻蝕，SOI、GeSi／Si等與硅基工藝兼容的新型電路，低K介質(zhì)和Cu互連以及量子器件和納米電子器件的制備和集成技術(shù)等。

3量子電子器件（QED）和以分子原子自組裝技術(shù)為基礎(chǔ)的納米電子學(xué)將帶來嶄新的領(lǐng)域

在上節(jié)我們談到的以尺寸不斷縮小的硅基CMOS工藝技術(shù)，可稱之為“scalingdown”，與此同時我們必須注意“bottomup”?！癰ottomup”最重要的領(lǐng)域有二個方面：

(1)量子電子器件（QED—QuantumElectronDevice）這里包括單電子器件和單電子存儲器等。它的基本原理是基于庫侖阻塞機理控制一個或幾個電子運動，由于系統(tǒng)能量的改變和庫侖作用，一個電子進(jìn)入到一個勢阱，則將阻止其它電子的進(jìn)入。在單電子存儲器中量子阱替代了通常存儲器中的浮柵。它的主要優(yōu)點是集成度高；由于只有一個或幾個電子活動所以功耗極低；由于相對小的電容和電阻以及短的隧道穿透時間，所以速度很快；且可用于多值邏輯和超高頻振蕩。但它的問題是制造比較困難，特別是制造大量的一致性器件很困難；對環(huán)境高度敏感，可靠性難以保證；在室溫工作時要求電容極小（αF），要求量子點大小在幾個納米。這些都為集成成電路帶來了很大困難。

因此，目前可以認(rèn)為它們的理論是清楚的，工藝有待于探索和突破。

(2)以原子分子自組裝技術(shù)為基礎(chǔ)的納米電子學(xué)。這里包括量子點陣列（QCA—Quantum－dotCellularAutomata)和以碳納米管為基礎(chǔ)的原子分子器件等。

量子點陣列由量子點組成，至少由四個量子點,它們之間以靜電力作用。根據(jù)電子占據(jù)量子點的狀態(tài)形成“0”和“1”狀態(tài)。它在本質(zhì)上是一種非晶體管和無線的方式達(dá)到陣列的高密度、低功耗和實現(xiàn)互連。其基本優(yōu)勢是開關(guān)速度快，功耗低，集成密度高。但難以制造，且對值置變化和大小改變都極為靈敏，0．05nm的變化可以造成單元工作失效。

以碳納米管為基礎(chǔ)的原子分子器件是近年來快速發(fā)展的一個有前景的領(lǐng)域。碳原子之間的鍵合力很強，可支持高密度電流，而熱導(dǎo)性能類似于金剛石，能在高集成度時大大減小熱耗散，性質(zhì)類金屬和半導(dǎo)體，特別是它有三種可能的雜交態(tài)，而Ge、Si只有一個。這些都使碳納米管（CNT）成為當(dāng)前科研熱點，從1991年發(fā)現(xiàn)以來，現(xiàn)在已有大量成果涌現(xiàn)，北京大學(xué)納米中心彭練矛教授也已制備出0．33納米的CNT并提出“T形結(jié)”作為晶體管的可能性。但是問題是如何去生長有序的符合設(shè)計性能的CNT器件，更難以集成。

目前“bottomup”的量子器件和以自組裝技術(shù)為基礎(chǔ)的納米器件在制造工藝上往往與“Scalingdown”的加工方法相結(jié)合以制造器件。這對于解決高集成度CMOS電路的功耗制約將會帶來突破性的進(jìn)展。

QCA和CNT器件不論在理論上還是加工技術(shù)上都有大量工作要做，有待突破，離開實際應(yīng)用還需較長時日！但這終究是一個誘人探索的領(lǐng)域，我們期待它們將創(chuàng)出一個新的天地。

4系統(tǒng)芯片（SystemOnAChip）是21世紀(jì)微電子技術(shù)發(fā)展的重點

在集成電路（IC）發(fā)展初期，電路設(shè)計都從器件的物理版圖設(shè)計入手，后來出現(xiàn)了集成電路單元庫（Cell－Lib），使得集成電路設(shè)計從器件級進(jìn)入邏輯級，這樣的設(shè)計思路使大批電路和邏輯設(shè)計師可以直接參與集成電路設(shè)計，極大地推動了IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。但集成電路僅僅是一種半成品，它只有裝入整機系統(tǒng)才能發(fā)揮它的作用。IC芯片是通過印刷電路板（PCB）等技術(shù)實現(xiàn)整機系統(tǒng)的。盡管IC的速度可以很高、功耗可以很小，但由于PCB板中IC芯片之間的連線延時、PCB板可靠性以及重量等因素的限制，整機系統(tǒng)的性能受到了很大的限制。隨著系統(tǒng)向高速度、低功耗、低電壓和多媒體、網(wǎng)絡(luò)化、移動化的發(fā)展，系統(tǒng)對電路的要求越來越高，傳統(tǒng)集成電路設(shè)計技術(shù)已無法滿足性能日益提高的整機系統(tǒng)的要求。同時，由于IC設(shè)計與工藝技術(shù)水平提高，集成電路規(guī)模越來越大，復(fù)雜程度越來越高，已經(jīng)可以將整個系統(tǒng)集成為一個芯片。目前已經(jīng)可以在一個芯片上集成108－109個晶體管，而且隨著微電子制造技術(shù)的發(fā)展，21世紀(jì)的微電子技術(shù)將從目前的3G時代逐步發(fā)展到3T時代（即存儲容量由G位發(fā)展到T位、集成電路器件的速度由GHz發(fā)展到燈THz、數(shù)據(jù)傳輸速率由Gbps發(fā)展到Tbps，注：1G=109、1T=1012、bps：每秒傳輸數(shù)據(jù)位數(shù)）。

正是在需求牽引和技術(shù)推動的雙重作用下，出現(xiàn)了將整個系統(tǒng)集成在一個微電子芯片上的系統(tǒng)芯片（SystemOnAChip，簡稱SOC）概念。

系統(tǒng)芯片（SOC）與集成電路（IC）的設(shè)計思想是不同的，它是微電子設(shè)計領(lǐng)域的一場革命，它和集成電路的關(guān)系與當(dāng)時集成電路與分立元器件的關(guān)系類似，它對微電子技術(shù)的推動作用不亞于自50年代末快速發(fā)展起來的集成電路技術(shù)。

SOC是從整個系統(tǒng)的角度出發(fā)，把處理機制、模型算法、芯片結(jié)構(gòu)、各層次電路直至器件的設(shè)計緊密結(jié)合起來，在單個（或少數(shù)幾個）芯片上完成整個系統(tǒng)的功能，它的設(shè)計必須是從系統(tǒng)行為級開始的自頂向下（Top－Down）的。很多研究表明，與IC組成的系統(tǒng)相比，由于SOC設(shè)計能夠綜合并全盤考慮整個系統(tǒng)的各種情況，可以在同樣的工藝技術(shù)條件下實現(xiàn)更高性能的系統(tǒng)指標(biāo)。例如若采用SOC方法和0．35μm工藝設(shè)計系統(tǒng)芯片,在相同的系統(tǒng)復(fù)雜度和處理速率下，能夠相當(dāng)于采用0．18～0.25μm工藝制作的IC所實現(xiàn)的同樣系統(tǒng)的性能；還有，與采用常規(guī)IC方法設(shè)計的芯片相比,采用SOC設(shè)計方法完成同樣功能所需要的晶體管數(shù)目約可以降低l～2個數(shù)量級。

對于系統(tǒng)芯片（SOC）的發(fā)展，主要有三個關(guān)鍵的支持技術(shù)。

（1）軟、硬件的協(xié)同設(shè)計技術(shù)。面向不同系統(tǒng)的軟件和硬件的功能劃分理論（FunctionalPartitionTheory），這里不同的系統(tǒng)涉及諸多計算機系統(tǒng)、通訊系統(tǒng)、數(shù)據(jù)壓縮解壓縮和加密解密系統(tǒng)等等。

（2）IP模塊庫問題。IP模塊有三種,即軟核，主要是功能描述；固核，主要為結(jié)構(gòu)設(shè)計；和硬核，基于工藝的物理設(shè)計、與工藝相關(guān)，并經(jīng)過工藝驗證過的。其中以硬核使用價值最高。CMOS的CPU、DRAM、SRAM、E2PROM和FlashMemory以及A／D、D／A等都可以成為硬核。其中尤以基于深亞微米的新器件模型和電路模擬為基礎(chǔ)，在速度與功耗上經(jīng)過優(yōu)化并有最大工藝容差的模塊最有價值?，F(xiàn)在,美國硅谷在80年代出現(xiàn)無生產(chǎn)線（Fabless)公司的基礎(chǔ)上，90年代后期又出現(xiàn)了一些無芯片（Chipless）的公司,專門銷售IP模塊。

（3）模塊界面間的綜合分析技術(shù),這主要包括IP模塊間的膠聯(lián)邏輯技術(shù)（gluelogictechnologies）和IP模塊綜合分析及其實現(xiàn)技術(shù)等。

微電子技術(shù)從IC向SOC轉(zhuǎn)變不僅是一種概念上的突破,同時也是信息技術(shù)新發(fā)展的里程碑。通過以上三個支持技術(shù)的創(chuàng)新,它必將導(dǎo)致又一次以系統(tǒng)芯片為主的信息技術(shù)上的革命。目前，SOC技術(shù)已經(jīng)嶄露頭角，21世紀(jì)將是SOC技術(shù)真正快速發(fā)展的時期。

在新一代系統(tǒng)芯片領(lǐng)域，需要重點突破的創(chuàng)新點主要包括實現(xiàn)系統(tǒng)功能的算法和電路結(jié)構(gòu)兩個方面。在微電子技術(shù)的發(fā)展歷史上,每一種算法的提出都會引起一場變革，例如維特比算法、小波變換等均對集成電路設(shè)計技術(shù)的發(fā)展起到了非常重要的作用,目前神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)、模糊算法等也很有可能取得較大的突破。提出一種新的電路結(jié)構(gòu)可以帶動一系列的應(yīng)用,但提出一種新的算法則可以帶動一個新的領(lǐng)域,因此算法應(yīng)是今后系統(tǒng)芯片領(lǐng)域研究的重點學(xué)科之一。在電路結(jié)構(gòu)方面,在系統(tǒng)芯片中，由于射頻、存儲器件的加入，其中的電路結(jié)構(gòu)已經(jīng)不是傳統(tǒng)意義上的CMOS結(jié)構(gòu)，因此需要發(fā)展更靈巧的新型電路結(jié)構(gòu)。另外，為了實現(xiàn)膠聯(lián)邏輯（GlueLogic）新的邏輯陣列技術(shù)有望得到快速的發(fā)展,在這一方面也需要做系統(tǒng)深入的研究。

5微電子與其他學(xué)科的結(jié)合誕生新的技術(shù)增長點

微電子技術(shù)的強大生命力在于它可以低成本、大批量地生產(chǎn)出具有高可靠性和高精度的微電子結(jié)構(gòu)模塊。這種技術(shù)一旦與其它學(xué)科相結(jié)合,便會誕生出一系列嶄新的學(xué)科和重大的經(jīng)濟(jì)增長點，這方面的典型例子便是MEMS（微機電系統(tǒng)）技術(shù)和DNA生物芯片。前者是微電子技術(shù)與機械、光學(xué)等領(lǐng)域結(jié)合而誕生的，后者則是與生物工程技術(shù)結(jié)合的產(chǎn)物。

微電子機械系統(tǒng)不僅是微電子技術(shù)的拓寬和延伸,它將微電子技術(shù)和精密機械加工技術(shù)相互融合，實現(xiàn)了微電子與機械融為一體的系統(tǒng)。MEMS將電子系統(tǒng)和外部世界聯(lián)系起來，它不僅可以感受運動、光、聲、熱、磁等自然界的外部信號，把這些信號轉(zhuǎn)換成電子系統(tǒng)可以認(rèn)識的電信號，而且還可以通過電子系統(tǒng)控制這些信號，發(fā)出指令并完成該指令。從廣義上講，MEMS是指集微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號處理和控制電路、接口電路、通信系統(tǒng)以及電源于一體的微型機電系統(tǒng)。MEMS技術(shù)是一種典型的多學(xué)科交叉的前沿性研究領(lǐng)域，它幾乎涉及到自然及工程科學(xué)的所有領(lǐng)域，如電子技術(shù)、機械技術(shù)、光學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)等〖3〗。

MEMS的發(fā)展開辟了一個全新的技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)。它們不僅可以降低機電系統(tǒng)的成本，而且還可以完成許多大尺寸機電系統(tǒng)所不能完成的任務(wù)。正是由于MEMS器件和系統(tǒng)具有體積小、重量輕、功耗低、成本低、可靠性高、性能優(yōu)異及功能強大等傳統(tǒng)傳感器無法比擬的優(yōu)點,因而MEMS在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境監(jiān)控、軍事以及幾乎人們接觸到的所有領(lǐng)域中都有著十分廣闊的應(yīng)用前景。例如微慣性傳感器及其組成的微型慣性測量組合能應(yīng)用于制導(dǎo)、衛(wèi)星控制、汽車自動駕駛、汽車防撞氣囊、汽車防抱死系統(tǒng)（ABS）、穩(wěn)定控制和玩具；微流量系統(tǒng)和微分析儀可用于微推進(jìn)、傷員救護(hù)；信息MEMS系統(tǒng)將在射頻系統(tǒng)、全光通訊系統(tǒng)和高密度存儲器和顯示等方面發(fā)揮重大作用；同時MEMS系統(tǒng)還可以用于醫(yī)療、光譜分析、信息采集等等?，F(xiàn)在已經(jīng)成功地制造出了尖端直徑為5μm的可以夾起一個紅細(xì)胞的微型鑷子，可以在磁場中飛行的象蝴蝶大小的飛機等。

MEMS技術(shù)及其產(chǎn)品的增長速度非常之高，目前正處在技術(shù)發(fā)展時期，再過若干年將會迎來MEMS產(chǎn)業(yè)化高速發(fā)展的時期。2000年，全世界MEMS的市場達(dá)到120到140億美元，而帶來的與之相關(guān)的市場達(dá)到1000億美元。

目前，MEMS系統(tǒng)與集成電路發(fā)展的初期情況極為相似。集成電路發(fā)展初期，其電路在今天看來是很簡單的，應(yīng)用也非常有限，以軍事需求為主,但它的誘人前景吸引了人們進(jìn)行大量投資，促進(jìn)了集成電路飛速發(fā)展。集成電路技術(shù)的進(jìn)步,加快了計算機更新?lián)Q代的速度，對CPU和RAM的需求越來越大,反過來又促進(jìn)了集成電路的發(fā)展。集成電路和計算機在發(fā)展中相互推動，形成了今天的雙贏局面，帶來了一場信息革命?，F(xiàn)階段的微機電系統(tǒng)專用性很強，單個系統(tǒng)的應(yīng)用范圍非常有限,還沒有出現(xiàn)類似于CPU和RAM這樣量大面廣的產(chǎn)品。隨著微機電系統(tǒng)的進(jìn)步，最后將有可能形成像微電子技術(shù)一樣有廣泛應(yīng)用前景的新產(chǎn)業(yè)，從而對人們的社會生產(chǎn)和生活方式產(chǎn)生重大影響。

當(dāng)前MEMS系統(tǒng)能否取得更更大突破，取決于兩方面的因素：第一是在微系統(tǒng)理論與基礎(chǔ)技術(shù)方面取得突破性進(jìn)展，使人們依靠掌握的理論和基礎(chǔ)技術(shù)可以高效地設(shè)計制造出所需的微系統(tǒng)；第二是找準(zhǔn)應(yīng)用突破口，揚長避短，以特別適合微系統(tǒng)應(yīng)用的重大領(lǐng)域為目標(biāo)進(jìn)行研究,取得突破，從而帶動微系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。在MEMS發(fā)展中需要繼續(xù)解決的問題主要有：MEMS建模與設(shè)計方法學(xué)研究；三維微結(jié)構(gòu)構(gòu)造原理、方法、仿真及制造；微小尺度力學(xué)和熱學(xué)研究；MEMS的表征與計量方法學(xué)；納結(jié)構(gòu)與集成技術(shù)等。

微電子與生物技術(shù)緊密結(jié)合誕生的以DNA芯片等為代表的生物芯片將是21世紀(jì)微電子領(lǐng)域的另一個熱點和新的經(jīng)濟(jì)增長點。它是以生物科學(xué)為基礎(chǔ)，利用生物體、生物組織或細(xì)胞等的特點和功能，設(shè)計構(gòu)建具有預(yù)期性狀的新物種或新品系，并與工程技術(shù)相結(jié)合進(jìn)行加工生產(chǎn)，它是生命科學(xué)與技術(shù)科學(xué)相結(jié)合的產(chǎn)物。具有附加值高、資源占用少等一系列特點，正日益受到廣泛關(guān)注。目前最有代表性的生物芯片是DNA芯片。

采用微電子加工技術(shù)，可以在指甲蓋大小的硅片上制作出包含有多達(dá)萬種DNA基因片段的芯片。利用這種芯片可以在極快的時間內(nèi)檢測或發(fā)現(xiàn)遺傳基因的變化等情況，這無疑對遺傳學(xué)研究、疾病診斷、疾病治療和預(yù)防、轉(zhuǎn)基因工程等具有極其重要的作用。

DNA芯片的基本思想是通過生物反應(yīng)或施加電場等措施使一些特殊的物質(zhì)能夠反映出某種基因的特性從而起到檢測基因的目的。目前Stanford和Affymetrix公司的研究人員已經(jīng)利用微電子技術(shù)在硅片或玻璃片上制作出了DNA芯片〖4〗。他們制作的DNA芯片是通過在玻璃片上刻蝕出非常小的溝槽，然后在溝槽中覆蓋一層DNA纖維。不同的DNA纖維圖案分別表示不同的DNA基因片段，該芯片共包括6000余種DNA基因片段。DNA（脫氧核糖核酸）是生物學(xué)中最重要的一種物質(zhì)，它包含有大量的生物遺傳信息，DNA芯片的作用非常巨大，其應(yīng)用領(lǐng)域也非常廣泛：它不僅可以用于基因?qū)W研究、生物醫(yī)學(xué)等，而且隨著DNA芯片的發(fā)展還將形成微電子生物信息系統(tǒng)，這樣該技術(shù)將廣泛應(yīng)用到農(nóng)業(yè)、工業(yè)、醫(yī)學(xué)和環(huán)境保護(hù)等人類生活的各個方面，那時，生物芯片有可能象今天的IC芯片一樣無處不在。

目前的生物芯片主要是指通過平面微細(xì)加工技術(shù)及超分子自組裝技術(shù)，在固體芯片表面構(gòu)建的微分析單元和系統(tǒng)，以實現(xiàn)對化合物、蛋白質(zhì)、核酸、細(xì)胞以及其它生物組分的準(zhǔn)確、快速、大信息量的篩選或檢測。生物芯片的主要研究包括采用生物芯片的具體實現(xiàn)技術(shù)、基于生物芯片的生物信息學(xué)以及高密度生物芯片的設(shè)計、檢測方法學(xué)等等。

6結(jié)語

在微電子學(xué)發(fā)展歷程的前50年中，創(chuàng)新和基礎(chǔ)研究曾起到非常關(guān)鍵的決定性作用。而隨著器件特征尺寸的縮小、納米電子學(xué)的出現(xiàn)、新一代SOC的發(fā)展、MEMS和DNA芯片的崛起，又提出了一系列新的課題，客觀需求正在“召喚”創(chuàng)新成果的誕生。

回顧20世紀(jì)后50年，展望21世紀(jì)前50年，即百年的微電子科學(xué)技術(shù)發(fā)展歷程，使我們深切地感受到，世紀(jì)之交的微電子技術(shù)對我們既是一個重大的機遇，也是一個嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)，如果我們能夠抓住這個機遇，立足創(chuàng)新，去勇敢地迎接這個挑戰(zhàn)，則有可能使我國微電子技術(shù)實現(xiàn)騰飛，在新一代微電子技術(shù)中擁有自己的知識產(chǎn)權(quán)，促進(jìn)我國微電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，為迎接21世紀(jì)中葉將要到來的偉大的民族復(fù)興奠定技術(shù)基礎(chǔ)，以重鑄中華民族的輝煌！

參考文獻(xiàn)

[1]S.M.SZE:LecturenoteatPekingUniversity,FourDecadesofDevelopmentsinMicroelectronics:Achievementsandchallenges.

[2]BobSchaller.TheOrigin,Natureandlmplicationof“Moore’sLaw”,.1996.

[3]張興、郝一龍、李志宏、王陽元?？缡兰o(jì)的新技術(shù)－微電子機械系統(tǒng)。電子科技導(dǎo)報，1999，4：2

篇2

三、來稿請寫清作者或聯(lián)系人姓名、電話、E－mail、工作單位、通訊地址及郵政編碼，自投稿之日起，兩個月內(nèi)未接到通知者可自行處理稿件。

四、編輯部對稿件有修改權(quán)，不愿改動者，請來稿時說明。

五、本刊已入編《中國學(xué)術(shù)期刊（光盤版）》及有關(guān)數(shù)據(jù)庫，不愿錄入各數(shù)據(jù)庫者，請在來稿中注明。

六、稿件一經(jīng)發(fā)表，贈送刊物兩冊。

篇3

主管單位：工業(yè)和信息化部

主辦單位：中國電子科技集團(tuán)公司第二十四研究所

出版周期：雙月刊

出版地址：重慶市

語

種：中文

開

本：大16開

國際刊號：1004-3365

國內(nèi)刊號：50-1090/TN

郵發(fā)代號：

發(fā)行范圍：國內(nèi)外統(tǒng)一發(fā)行

創(chuàng)刊時間：1971

期刊收錄：

CA 化學(xué)文摘(美)(2009)

SA 科學(xué)文摘(英)(2009)

CBST 科學(xué)技術(shù)文獻(xiàn)速報(日)(2009)

Pж(AJ) 文摘雜志(俄)(2009)

中國科學(xué)引文數(shù)據(jù)庫(CSCD―2008)

核心期刊：

中文核心期刊(2008)

中文核心期刊(2004)

中文核心期刊(2000)

中文核心期刊(1996)

期刊榮譽：

中科雙效期刊

Caj-cd規(guī)范獲獎期刊

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二、加強互動教學(xué)，拉近師生情感

中職電子商務(wù)教學(xué)質(zhì)量的提高離不開良好的課堂教學(xué)，然而在課堂中學(xué)生不可能和教師有更多的交流，即使在課外也不可能有過多的時間交流。有些學(xué)生性格比較內(nèi)向，平時不愿意和教師或同學(xué)面對面交流，加上中職學(xué)校教師一般都擔(dān)任多個班級的課程，工作量較大，沒有更多的時間與學(xué)生面對面的接觸和解答學(xué)生的疑問，師生之間缺少實時互動與交流。反而有很多學(xué)生喜歡通過微信與老師交流，教師利用微信的互動功能加強與學(xué)生的交流，了解學(xué)生的需要，解答學(xué)生的問題。微信可以將通訊錄中的一部分人組建在一起群聊，群成員的發(fā)言，其他成員可以及時聽到看到，還能一起對講，群聊中被人@到，也會收到提醒。教師在進(jìn)行電子商務(wù)項目分組教學(xué)時，同組學(xué)生組建一個微信群，并給微信群起個響亮易記的名字，教師也是這個微信群的成員之一。成員可以隨時聯(lián)系，互相探討學(xué)習(xí)任務(wù)，教師在微信群能夠及時了解學(xué)生的學(xué)習(xí)情況和學(xué)習(xí)小組的任務(wù)完成進(jìn)度，隨時解答學(xué)習(xí)小組的疑問和及時調(diào)整學(xué)習(xí)內(nèi)容。同時，教師還要組建一個班級微信群，將所有學(xué)習(xí)小組的成員都拉進(jìn)群，并邀請電子商務(wù)行業(yè)的專家加入。

在班級微信群，學(xué)習(xí)小組互相分享學(xué)習(xí)成果，交流學(xué)習(xí)心得和體會，還可以通過語音、圖文和拍照等功能形象生動地提問，并及時得到行業(yè)專家、老師和其他同學(xué)的解答，促進(jìn)學(xué)習(xí)任務(wù)的完成，激發(fā)學(xué)生的潛能，培養(yǎng)學(xué)生協(xié)作學(xué)習(xí)的習(xí)慣。例如，在客戶服務(wù)課程教學(xué)過程中，教師可以利用微信群對全班學(xué)生進(jìn)行分組，通過微信的語音交流功能，指導(dǎo)學(xué)生分組進(jìn)行“接待客戶來電咨詢”、“處理客戶退換貨”的電話客服的教學(xué)。學(xué)生在不同地點分別扮演客戶、客服、發(fā)貨員等不同的電子商務(wù)角色，創(chuàng)設(shè)出近乎真實的工作場景，教師和其他同學(xué)還能夠在現(xiàn)場監(jiān)聽語音內(nèi)容，分析比較學(xué)習(xí)任務(wù)的完成效果，更好地改進(jìn)學(xué)習(xí)。利用微信的語音功能，行業(yè)專家、老師和學(xué)生都能聽到對方親切的話語，在學(xué)習(xí)知識的同時，感受到對方的熱情，拉近了彼此之間的感情。良好的師生感情有利于增強學(xué)生學(xué)習(xí)的自信心，增加學(xué)生對教師的信賴，挖掘?qū)W生學(xué)習(xí)電子商務(wù)專業(yè)知識的動機，使學(xué)生真正“愛學(xué)”、“樂學(xué)”。

三、拓寬知識面，延伸知識深度

在有限的課堂教學(xué)中，教師為了完成教學(xué)計劃規(guī)定的任務(wù)，不可能在課堂中講授更多的電子商務(wù)最前沿的知識，也不可能在課堂中熟悉所有學(xué)生，了解學(xué)生的知識掌握程度，做到因材施教。電子商務(wù)是信息技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物，日新月異的互聯(lián)網(wǎng)技術(shù)造就了諸如O2O、跨境電子商務(wù)、移動電子商務(wù)等新型的電子商務(wù)模式。然而，中職學(xué)校電子商務(wù)專業(yè)受到教材、設(shè)備和教學(xué)軟件更新速度過慢的影響，同時中職學(xué)校電子商務(wù)的專業(yè)教師有很大一部分是非本專業(yè)出身或由計算機信息類專業(yè)、財經(jīng)類專業(yè)的教師擔(dān)任，這二個原因?qū)е码娮由虅?wù)專業(yè)的學(xué)生在學(xué)習(xí)電子商務(wù)專業(yè)知識時更多只能停留在教材內(nèi)容范圍，根本不能適應(yīng)電子商務(wù)的高速發(fā)展，更談不上以就業(yè)為導(dǎo)向了。微信的公眾平臺即微信公眾號，可以幫助教師和學(xué)生獲取電子商務(wù)的最新動態(tài)和前沿知識。公眾號分為服務(wù)號和訂閱號，服務(wù)號是企業(yè)開展業(yè)務(wù)、信息的公眾服務(wù)平臺；訂閱號為媒體和個人提供一種新的信息傳播方式，構(gòu)建與讀者之間更好的溝通模式。因此，學(xué)生通過關(guān)注電子商務(wù)企業(yè)的服務(wù)號或訂閱號，比如“賣家吧”、“騰訊電商那些事”、“網(wǎng)迷電商”等，這些服務(wù)號或訂閱號都會定期推送電子商務(wù)最新的消息和技術(shù)給關(guān)注的微信用戶，教師和學(xué)生通過查閱這些消息就可以很方便地了解電子商務(wù)前沿新聞和最新動態(tài)，及時把握電子商務(wù)發(fā)展動向，有意識地拓寬學(xué)習(xí)的視野，往更深層次地理解電子商務(wù)知識。

基于微信訂閱號對個人開放申請和良好的互動模式，教師在微信公眾平臺申請用于電子商務(wù)教學(xué)的訂閱號，要求電子商務(wù)專業(yè)的學(xué)生添加此訂閱號，教師就可以很方便地在網(wǎng)頁版的微信公眾平臺或通過手機微信公眾號助手的群發(fā)功能，將電子商務(wù)內(nèi)容及時快速地推送到每位學(xué)生的手機、平板電腦等移動終端。教師還可以通過公眾平臺的編輯模式設(shè)置“消息自動回復(fù)”和“關(guān)鍵詞自動回復(fù)”，學(xué)生向訂閱號提問或回復(fù)，就能自動獲取想了解的電子商務(wù)內(nèi)容，而且內(nèi)容可以是文字、圖片、語音和視頻。例如，筆者申請開通了電子商務(wù)學(xué)習(xí)的訂閱號“studyec”，要求電子商務(wù)專業(yè)的學(xué)生添加并關(guān)注，筆者在用戶管理后臺將電子商務(wù)專業(yè)的學(xué)生按不同年級和知識層次進(jìn)行分組，有針對性地按分組群發(fā)圖文、語音和視頻等形式的教學(xué)內(nèi)容。比如使用語音方式布置課外作業(yè)和解答學(xué)生的疑問，鼓勵學(xué)生用心學(xué)習(xí)，設(shè)置自動回復(fù)消息開設(shè)O2O電子商務(wù)模式的專題知識拓展，學(xué)生只要回復(fù)相應(yīng)的數(shù)字，即可獲得相應(yīng)的知識內(nèi)容或知識難點，延伸了課堂。學(xué)生學(xué)習(xí)的自由度大了，主動性也提高了，也能把零散的時間用在學(xué)習(xí)上，更重要的是滿足了不同層次學(xué)生的需要，真正做到“因材施教”。

四、分享學(xué)習(xí)成果，反思學(xué)習(xí)過程

微信朋友圈將微信的圈中好友緊密聯(lián)系在一起，通過朋友圈，能夠分享圖文、語音、視頻和鏈接，圈中好友點擊閱讀、參與評論。在學(xué)習(xí)電子商務(wù)項目任務(wù)的過程中，學(xué)生通過微信朋友圈“曬”照片、談心得、分享學(xué)習(xí)成果，圈中好友評論、回復(fù)，在分享和評論中反思學(xué)習(xí)過程，總結(jié)學(xué)習(xí)經(jīng)驗，改進(jìn)學(xué)習(xí)方式方法。例如，在學(xué)習(xí)簽名郵件和加密郵件收發(fā)的項目內(nèi)容時，教師組織學(xué)生通過微信朋友圈分享如何收發(fā)簽名和加密郵件以及操作過程中最該注意的問題，分享學(xué)習(xí)的喜悅，反思學(xué)習(xí)過程中的不足，總結(jié)Outlook和Foxmail軟件進(jìn)行簽名郵件和加密郵件收發(fā)的優(yōu)缺點，師生們踴躍發(fā)言，或提出疑問，或解答迷惑，一個無形而卓有成效的分享討論圈就此展開。

五、輕松點贊，收獲評價

學(xué)生的學(xué)習(xí)任務(wù)完成得如何？學(xué)習(xí)成果有沒有達(dá)到教學(xué)目標(biāo)？通常需要進(jìn)行定性和定量評價，教師預(yù)先按照制定的評價量規(guī)設(shè)計學(xué)習(xí)過程或?qū)W習(xí)成果評價表，組織學(xué)生進(jìn)行自評、他評和教師評，最后統(tǒng)計評價結(jié)果。在微信朋友圈發(fā)表觀點，分享有價值的信息，常常得到圈中好友的點贊，點贊越多，證明信息越受好友歡迎，越能體現(xiàn)信息主人的成就。教師可以巧妙地利用微信點贊的功能，快速有效地組織教學(xué)評價。例如，學(xué)生通過微信朋友圈分享簽名郵件和加密郵件的學(xué)習(xí)成果，教師組織學(xué)生在規(guī)定時間范圍內(nèi)對學(xué)習(xí)成果進(jìn)行點贊和評論，最后要求學(xué)生將點贊和評論結(jié)果截圖發(fā)送給老師和班級微信群，老師和全班同學(xué)都可以及時了解評價結(jié)果，反思和改進(jìn)教學(xué)。點贊和評論的主體可以是學(xué)生本人、其他同學(xué)和老師，點贊的個數(shù)相當(dāng)于定量評價，文字評論相當(dāng)于定性評價，體現(xiàn)了評價的趣味性、評價主體的多樣性和評價方式的全面性。

六、微信在電子商務(wù)教學(xué)中應(yīng)用的注意問題

第一，教學(xué)中不能過分依賴微信。

微信雖然給電子商務(wù)教學(xué)帶來便利，對電子商務(wù)知識的掌握起到促進(jìn)作用，但是電子商務(wù)還是應(yīng)該以課堂教學(xué)為主，微信只能起到輔助教學(xué)的作用，是課堂教學(xué)的有益補充。因此，教學(xué)中需要運用微信時一定要計劃周詳，突出教師的主導(dǎo)作用和學(xué)生的主體地位，以提高教學(xué)效果為前提。

第二，加強信息的管理和更新。

微信畢竟是基于移動互聯(lián)網(wǎng)的聊天交流工具，因此在利用微信進(jìn)行電子商務(wù)教學(xué)過程中，教師應(yīng)該嚴(yán)格控制學(xué)生使用微信時不偏離學(xué)習(xí)內(nèi)容而轉(zhuǎn)為娛樂，要經(jīng)常監(jiān)聽學(xué)生發(fā)送的信息是否合法合理，絕對不允許胡言亂語和發(fā)送不切實際的信息。教師在利用微信公眾平臺時千萬不能因過分強調(diào)群發(fā)功能，卻忽視了電子商務(wù)知識的傳授和教學(xué)互動，還要兼顧不同層次學(xué)生的學(xué)習(xí)需求，否則就和垃圾郵件、垃圾短信沒什么區(qū)別了。同時，要注意教師訂閱號的信息更新，如果長時間不更新訂閱號的電子商務(wù)信息，粉絲就會流失，就會失去訂閱號的互動教學(xué)功能。因此，定期更新電子商務(wù)的新知識、新聞、動態(tài)，甚至電子商務(wù)人物的故事案例，對于師生用好微信教學(xué)都是極為關(guān)鍵的。

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中圖分類號：G64 文獻(xiàn)標(biāo)識碼：A 文章編號：1002—7661（2012）21—0006—01

在當(dāng)今信息時代，微電子學(xué)的應(yīng)用已經(jīng)滲透到國民經(jīng)濟(jì)的各個領(lǐng)域。集成電路（ Integrated Circuit， IC）作為微電子技術(shù)的核心，是整個信息產(chǎn)業(yè)和信息社會最根本的技術(shù)基礎(chǔ)。發(fā)展IC產(chǎn)業(yè)對提高技術(shù)的創(chuàng)新基礎(chǔ)和競爭能力具有非常重要的作用，對國民經(jīng)濟(jì)發(fā)展、國防建設(shè)和人民文化生活等各方面都發(fā)揮著巨大的作用，也是一個國家參與國際化政治、經(jīng)濟(jì)競爭的戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)。模擬集成電路是現(xiàn)實世界和數(shù)字化系統(tǒng)之間的橋梁，是現(xiàn)代信息化系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)之一。發(fā)展電子信息化，必須發(fā)展模擬IC技術(shù)。為了提高我國模擬IC電路的水平，不但要在產(chǎn)業(yè)化方面做出巨大的努力，還需培養(yǎng)出更多的高質(zhì)量人才。事實上，模擬集成電路設(shè)計是一個實踐性較強、實踐內(nèi)容多的微電子學(xué)專業(yè)的專業(yè)方向，因而在教學(xué)課程設(shè)置時不僅要努力加強理論教學(xué)，還需加強實踐教學(xué)，提高學(xué)生的實踐動手能力?！赌M集成電路CAD》課程作為模擬集成電路設(shè)計方向的核心基礎(chǔ)課程，其教學(xué)的好壞關(guān)系到學(xué)生在模擬集成電路設(shè)計方面的發(fā)展前景。在此背景下，根據(jù)重慶郵電大學(xué)光電工程學(xué)院微電子學(xué)專業(yè)的實際情況，結(jié)合筆者多年集成電路實際工程經(jīng)驗以及多年教學(xué)實踐，擬從以下幾個方面對《模擬集成電路CAD》課程的教學(xué)改革進(jìn)行探索。

一、理論教學(xué)，以培養(yǎng)學(xué)生分析設(shè)計能力為目標(biāo)

《模擬集成電路CAD》是模擬集成電路設(shè)計方向的一門核心基礎(chǔ)課，與其他電路基礎(chǔ)課一樣，具有承上啟下的作用。而模擬集成電路具有概念細(xì)節(jié)多、理論較抽象、工程特征突出、電路結(jié)構(gòu)多樣等特點，在學(xué)習(xí)中學(xué)生普遍反映較難學(xué)習(xí)。在設(shè)置授課內(nèi)容時，不僅要夯實專業(yè)基礎(chǔ)和培養(yǎng)學(xué)生的分析與設(shè)計能力，還要盡量避免與《模擬CMOS集成電路》等課程的知識重復(fù)的問題。

根據(jù)教學(xué)大綱以及課程內(nèi)容設(shè)置原則，《模擬集成電路CAD》理論教學(xué)定為32學(xué)時，并將講授內(nèi)容分為以下幾部分：第一部分，MOS仿真模型及CMOS模擬集成電路CAD；第二部分，單元電路設(shè)計、仿真及分析；第三部分，偏置電路設(shè)計、仿真及分析；第四部，跨導(dǎo)放大器設(shè)計。在授課過程中，以簡單CMOS模擬集成電路基本單元分析為主，復(fù)雜CMOS模擬集成電路分析為輔；以分析能力培養(yǎng)為主，設(shè)計能力培養(yǎng)為輔；激勵學(xué)生CMOS模擬集成電路設(shè)計的興趣。

二、實驗教學(xué)，以培養(yǎng)學(xué)生實踐動手能力為目標(biāo)

實驗教學(xué)的目的在于培養(yǎng)學(xué)生建立起CMOS模擬集成電路設(shè)計流程的概念、熟練掌握各個環(huán)境的工具使用，能解決模擬集成電路設(shè)計仿真過程出現(xiàn)的問題，促使理論知識的理解和深化，因而設(shè)置合理的實驗體系具有重要意義。同時，Cadence、Synopsys、Mentor等最主流集成電路設(shè)計工具廠商提供的EDA工具是目前集成電路設(shè)計公司最廣泛使用的工具。為了使學(xué)生在畢業(yè)后能很快適應(yīng)崗位、能盡快進(jìn)入角色，有必要使學(xué)生學(xué)習(xí)使用這類先進(jìn)的EDA工具，從而真正幫助學(xué)生掌握CMOS模擬集成電路設(shè)計技術(shù)。根據(jù)這一原則，《模擬集成電路CAD》實驗教學(xué)定為32學(xué)時，并開設(shè)如下幾個實驗：實驗一，IC設(shè)計工具—Cadence的ADE與版圖大師等的使用；實驗二，CMOS兩級運算放大器的設(shè)計、版圖繪制與驗證；實驗三，CMOS帶隙基準(zhǔn)參考的設(shè)計、版圖繪制與驗證。在實驗過程中，一人為一組，有利于培養(yǎng)學(xué)生的獨立思考問題、解決問題的能力。

三、改革教學(xué)方法，豐富教學(xué)手段

教學(xué)內(nèi)容體系確定后，采用什么樣的教學(xué)方法與教學(xué)手段是非常重要的。采用有效的教學(xué)方法并結(jié)合先進(jìn)的教學(xué)手段，不僅有利于培養(yǎng)學(xué)生獲取知識的能動性，而且有利于培養(yǎng)學(xué)生獨立發(fā)現(xiàn)問題、分析問題以及解決問題的能力，實現(xiàn)以教為中心到以學(xué)為中心的轉(zhuǎn)換，突出學(xué)生在學(xué)習(xí)過程中的主動性，從而獲得好的教學(xué)成果。

針對CMOS模擬集成電路具有概念細(xì)節(jié)多、理論較抽象、工程特征突出、電路結(jié)構(gòu)多樣等特點，在（下轉(zhuǎn)第10頁）（上接第6頁）教學(xué)手段上以多媒體教學(xué)為主，傳統(tǒng)黑板板書為輔，同時在課堂上以動畫的形式展現(xiàn)當(dāng)前CMOS模擬集成電路設(shè)計趨勢及其技術(shù)特點，從而達(dá)到提高課堂教學(xué)質(zhì)量的目的。

四、考核方式的改革

考核是對學(xué)習(xí)的結(jié)果做出評估，是反映教學(xué)效果的手段。而課程開設(shè)能否達(dá)到既定的教學(xué)目標(biāo)，課程的考核方式有著比較重要的作用。傳統(tǒng)的考核方式為試卷筆試與平時成績結(jié)合的方式。針對《模擬CMOS集成電路》課程特點，考核方式作如下嘗試：結(jié)合課程的專業(yè)特點，采用提交論文和現(xiàn)場答辯相結(jié)合的考核方式。針對課程的重點知識點，設(shè)計幾個課外小題目，讓學(xué)生通過查閱相關(guān)文獻(xiàn)資料，完成電路設(shè)計并撰寫小論文，從而增強學(xué)生獨立思考與實踐動手能力。在每個題目完成后，教師要求學(xué)生在提交論文時做好答辯ppt，并利用專門時間進(jìn)行5分鐘左右的答辯，并接受教師和同學(xué)的提問。這樣可以引導(dǎo)學(xué)生更加重視實踐性環(huán)節(jié)，強化技能水平的提高。

教學(xué)過程是一個不斷探索、總結(jié)與創(chuàng)新的過程。要實現(xiàn)《模擬集成電路CAD》這門課的全面深入的改革，還有待與同仁一道共同努力。在今后的教學(xué)實踐中，筆者將加強與同行交流學(xué)習(xí)，進(jìn)一步完善教學(xué)內(nèi)容、教學(xué)實踐、教學(xué)方法、教學(xué)手段以及考核方式等，以期改善教學(xué)效果。

參考文獻(xiàn)：

篇6

主管單位：

主辦單位：中國科學(xué)院電子學(xué)研究所;中國科學(xué)院文獻(xiàn)情報中心

出版周期：雙月刊

出版地址：北京市

語

種：中文

開

本：大16開

國際刊號：1003-1928

國內(nèi)刊號：11-2635/TN

郵發(fā)代號：82-15

發(fā)行范圍：國內(nèi)外統(tǒng)一發(fā)行

創(chuàng)刊時間：1985

期刊收錄：

核心期刊：

期刊榮譽：

篇7

近年來，在國內(nèi)外重要期刊上發(fā)表SCI論文70余篇，El論文1 50多篇。2005年8月回國后，成為國際研究項目Nano-Device Modeling Initiative的研究成員，被國際期刊Recent Patents on Engineering，Open Nano Sci-ence Journal，Recent Patents on Electrical Engineering等聘為編委會成員。

2008年5月，北京大學(xué)信息科學(xué)技術(shù)學(xué)院教授何進(jìn)博士接到了一份期盼已久的邀請函，它來自美國電子和信息技術(shù)聯(lián)合會麾下的國際集成電路模型標(biāo)準(zhǔn)化委員會，該委員會主席邀請何進(jìn)參加于6月5-6日在美國波士頓舉行的關(guān)于新一代ULTRA-SOI集成電路國際標(biāo)準(zhǔn)模型選擇的CMC會議，并攜帶北京大學(xué)自主研發(fā)的新SOI電路模型，競爭高科技IT技術(shù)一納米SOI集成電路模型的國際標(biāo)準(zhǔn)。

ULTRA-SOI是北京大學(xué)研究的，針對SOI器件和電路的創(chuàng)新性納米尺寸絕緣柵場效應(yīng)晶體管模型。它使用了新的物理核心和工程模型結(jié)構(gòu)來模擬納米尺寸的SOI MOSFET行為。與國際上的同類研究相比，ULTRA-SOI具有明顯的科學(xué)創(chuàng)新性和高技術(shù)特色，有望在國際主流的集成電路設(shè)計EDA工具中得到實際使用，此次獲邀參加國際標(biāo)準(zhǔn)競爭，顯示了北京大學(xué)微電子研究在該領(lǐng)域基礎(chǔ)研究方面的前沿地位，以及在集成電路工程技術(shù)開發(fā)方面所發(fā)揮的先鋒作用。

何進(jìn)說：“這一成果得到認(rèn)可，遠(yuǎn)比在知名刊物上發(fā)表幾篇文章更有說服力，也更有價值?！?/p>

科學(xué)研究的意外機遇和收獲

回望自己的科研之路，何進(jìn)說：“不管是做研究，還是我的個人發(fā)展，都是一步一步地走出來的。人生沒有坦途，奮斗終有收獲?！?/p>

其實，今天在微電子學(xué)領(lǐng)域嶄露頭角的何進(jìn)起初并沒有對科學(xué)研究抱有太大的期許。當(dāng)年，能邁進(jìn)大學(xué)的門檻，何進(jìn)很滿足。然而，一進(jìn)大學(xué)，中學(xué)時那種極度封閉、狹小的天地一下敞開了，何進(jìn)才發(fā)現(xiàn)原來天地是如此廣闊，世界是如此豐富。時間總是不夠，他有太多的事情可以做：去圖書館看書，跑學(xué)術(shù)廳聽演講，忙于各種課外活動……他的腦子里開始不斷地冒出思想的火花，他甚至憧憬著去當(dāng)一個哲學(xué)家。

現(xiàn)實常常讓所謂的哲學(xué)家必須低下高昂的頭顱去面對腳下的小路。大學(xué)本科畢業(yè)以后，何進(jìn)被分配到一個無線電廠工作。當(dāng)工作像流水線作業(yè)一樣越來越熟悉的時候，他發(fā)現(xiàn)自己無法適應(yīng)這種單調(diào)、重復(fù)的生活，于是又考上了研究生。碩士上完了，何進(jìn)還是忘不了自己哲學(xué)家的夢，于是他準(zhǔn)備報考宗教學(xué)的博士。沒想到，家里人的堅決反對讓一心想成為哲學(xué)家的何進(jìn)終于“還了俗”：“他們怕我以后畢業(yè)了連個飯碗都找不到，我就只好向現(xiàn)實妥協(xié)?！?/p>

何進(jìn)開始很不情愿地讀起了微電子學(xué)的博士?；蛟S是因為他本科、碩士都不是學(xué)微電子專業(yè)的，所以到了博士生的科研階段，反而使他可以從不同的角度看待自己的專業(yè)，從別人司空見慣的舊材料中不斷發(fā)現(xiàn)新的問題。讀書，在何進(jìn)看來并不難，他認(rèn)為難的是找到自己的人生目標(biāo)。正因為這次轉(zhuǎn)折，何進(jìn)正式開始了自己的科研之路，他在這里找到了自己的人生歸屬。2001年，何進(jìn)赴美國加州大學(xué)伯克利分校電子和計算機科學(xué)系器件研究室訪問研究。

幸運的是，何進(jìn)在求學(xué)和工作的過程中遇到了幾位讓他終身受益的老師。中國科學(xué)院院士、電子科技大學(xué)的陳星弼教授，中科院院士，北京大學(xué)的王陽元教授，中科院外籍院士、美國工程院院士、美國加州大學(xué)伯克利分校的胡正明教授，IEEE終身院士古默爾(H.K Gummel)博士等，都曾先后做過何進(jìn)的導(dǎo)師和合作者。在何進(jìn)看來，導(dǎo)師們嚴(yán)謹(jǐn)?shù)闹螌W(xué)態(tài)度，他們的博學(xué)、睿智都是他終身學(xué)習(xí)的榜樣。

2005年9月，何進(jìn)結(jié)束了在美國加州大學(xué)伯克利分校的多年研究后回國。他有幸獲得了北京大學(xué)及教育部留學(xué)回國人員科研啟動基金和國家自然科學(xué)基金的資助，何進(jìn)不僅迅速建立了納太器件和電路研究室，使自己的研究工作聚焦在納米CMOS新結(jié)構(gòu)，納米MOSFET的量子傳輸和準(zhǔn)彈道輸運，深亞微米芯片仿真物理模型，電子材料和相關(guān)器件等，也先后參加了國家“973”、“863”、自然科學(xué)基金等研究項目。他領(lǐng)導(dǎo)的研究小組已成為國際納米CMOS器件物理和模型研究舞臺的一支重要力量，在納米CMOS芯片仿真模型研究方面取得了一系列國際矚目的重要進(jìn)展。

2007年9月，何進(jìn)小組的CMOS集成電路用納電子器件模型成果發(fā)表在國際電氣和電子工程師協(xié)會電子器件領(lǐng)域最權(quán)威的學(xué)術(shù)期刊IEEE Transaction on Electron Devices 9月的《納電子器件模型和模擬專輯》上。該專輯的相關(guān)背景是：為了應(yīng)對納米集成電路發(fā)展中的挑戰(zhàn)，反映最近一兩年來納電子器件模擬和仿真技術(shù)的快速發(fā)展，IEEE電子器件協(xié)會(EDS)在2007年初面向全球，征集該領(lǐng)域的頂尖研究成果，向全世界展示該方向的最新研究成果。經(jīng)過激烈競爭和嚴(yán)格的多輪專家評審，《納電子器件模型和模擬專輯》在全世界范圍內(nèi)最后僅僅錄用了20篇投稿論文。何進(jìn)研究小組在該專輯的上發(fā)表了關(guān)于納米環(huán)柵CMOS器件模型基本解的研究論文。這是中國大陸、臺灣和香港地區(qū)入選該專集的惟一論文。

這也是何進(jìn)研究小組繼2006年在該權(quán)威期刊《先進(jìn)模型和45納米模型挑戰(zhàn)專輯》上，發(fā)表納米CMOS器件物理基本解和MOS器件量子效應(yīng)模擬兩篇重要論文以來，在微納電子和集成電路器件模型領(lǐng)域取得的又一新進(jìn)展。

做現(xiàn)實的理想主義者

雖然出國前已經(jīng)是北京大學(xué)的副教授，但是從伯克利回國以后，何進(jìn)還是很明顯地感到國內(nèi)、國外的差距：“和國外比起來，我們?nèi)钡牟皇怯布?，缺的不是勤奮，而是眼光。”

回國之后的何進(jìn)把自己的研究定位在國際前沿上，他已經(jīng)取得的系列成果使他成為國際微電子學(xué)術(shù)界和工程領(lǐng)域享有聲譽的中國科學(xué)家，他是國際集成電路界工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)CMOS模型BSIM4.3.0的主要研發(fā)者，模型手冊的主要作者(BSIM4.3.0經(jīng)被國際半導(dǎo)體工業(yè)界廣泛采用，促進(jìn)了國際集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展)；BSIM5首席研究者，模型手冊第一作者。他提出的BSIMDG模型成果被最近發(fā)表在IEEE T-ED上的綜述文章稱為“何氏模型”，是全世界4個典型代表。提出的納米CMOS參數(shù)提取新技術(shù)，被發(fā)表在Micro-electronics Reliability上有關(guān)閾值電壓的綜述文章稱為“何氏方法”，為近年來11種典型方法之一。

距離何進(jìn)在北京大學(xué)的研究室不遠(yuǎn)處，就是微電子所的器件測試實驗中心，何進(jìn)和他的團(tuán)隊整天在實驗中心和研究室之間忙碌著。采訪時，測試中心的寧?？±蠋熜χf：“何進(jìn)可是我們這兒的寶貝，學(xué)生都樂意跟著何老師做研究生!”

何進(jìn)說：“目前，國家的政策、北京大學(xué)的政策都是越來越好。但是一個學(xué)科的發(fā)展，不是一個人所能決定的，它需要一個強大的團(tuán)隊，需要努力勤奮的學(xué)生，更需要更多的資源。即使在北大，要想干事情，也要從社會上去爭取更多的資源，也會有很多不熟悉的地方……”

篇8

主管單位：中華人民共和國教育部

主辦單位：北京郵電大學(xué)

出版周期：雙月刊

出版地址：北京市

語

種：英語

開

本：大16開

國際刊號：1005-8885

國內(nèi)刊號：11-3486/TN

郵發(fā)代號：

發(fā)行范圍：國內(nèi)外統(tǒng)一發(fā)行

創(chuàng)刊時間：1994

期刊收錄：

SA 科學(xué)文摘(英)(2009)

Pж(AJ) 文摘雜志(俄)(2009)

EI 工程索引(美)(2009)

中國科學(xué)引文數(shù)據(jù)庫(CSCD―2008)

核心期刊：

期刊榮譽：

SA 科學(xué)文摘(英)(2009)

Pж(AJ) 文摘雜志(俄)(2009)

EI 工程索引(美)(2009)

中國科學(xué)引文數(shù)據(jù)庫(CSCD―2008)

聯(lián)系方式

篇9

中圖分類號：G633.41文獻(xiàn)標(biāo)識碼：A文章編號：1002-7661（2012）08-0006-02

專業(yè)英語是一門語言應(yīng)用與專業(yè)知識緊密結(jié)合的課程，其目的是為了提高學(xué)生閱讀英語專業(yè)文獻(xiàn)的能力，以及初步的用英語進(jìn)行專業(yè)寫作和交流的能力。由于微電子學(xué)科發(fā)展較快，而前沿技術(shù)和論題又往往首先由國外發(fā)起，因此更需要扎實的專業(yè)英語知識。但由于專業(yè)英語既包括復(fù)雜的英語句型，又包括艱深的專業(yè)知識，故使得大多數(shù)學(xué)生對其望而生畏，覺得枯燥乏味，影響了教學(xué)效果。本文對重慶郵電大學(xué)微電子專業(yè)英語的授課內(nèi)容和教學(xué)方法做了一定的探索和改革，提高了學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣，獲得了較好的教學(xué)效果。

一、教學(xué)內(nèi)容的安排

大多數(shù)高校都把專業(yè)英語放在大三開課，因為此時學(xué)生已完成大學(xué)英語的學(xué)習(xí)，同時又修完了部分專業(yè)課程。但必須注意此時的學(xué)生專業(yè)知識尚不充分，因此就課程內(nèi)容而言，不宜選擇過于專業(yè)的文獻(xiàn)，而應(yīng)選擇專業(yè)基礎(chǔ)或者專業(yè)科普方面的文獻(xiàn)。所選文獻(xiàn)不宜艱深，不宜有太多公式和推導(dǎo)，而應(yīng)以語言描述為主，否則將消耗大量時間來解釋專業(yè)知識和公式推導(dǎo)，而削弱了對語言閱讀和應(yīng)用能力的培養(yǎng)。

以重慶郵電大學(xué)微電子專業(yè)為例，專業(yè)英語開設(shè)在大三上學(xué)期。按照培養(yǎng)計劃，該專業(yè)在大二下學(xué)期已開展了部分專業(yè)基礎(chǔ)課。在專業(yè)英語開設(shè)時，學(xué)生已修完《電子線路》《固體物理》《數(shù)字電路》《電路分析》等專業(yè)基礎(chǔ)課程，同時正在學(xué)習(xí)《半導(dǎo)體物理》《CMOS集成電路設(shè)計》等專業(yè)課程。針對學(xué)生的學(xué)業(yè)現(xiàn)狀，我們將微電子專業(yè)英語的內(nèi)容選為如下幾個部分：（1）半導(dǎo)體發(fā)展歷程；（2）半導(dǎo)體物理基礎(chǔ)知識；（3）集成電路設(shè)計基礎(chǔ)知識；（4）專業(yè)論文閱讀。其中第1部分采用科普性的文章，避免學(xué)生一開始就覺得難學(xué)。這部分內(nèi)容敘述上淺顯易懂，同時包括了大量趣聞軼事，如晶體管Transistor一詞的來歷，巴丁、布拉頓、肖克利等人的合作與沖突等，適當(dāng)穿插講解，將大大提高學(xué)生的興趣。同時這部分也包括了大量的專業(yè)詞匯，因此可使學(xué)生在輕松學(xué)習(xí)之中逐步深入進(jìn)去。第2部分和第3部分，都是學(xué)生在本學(xué)期正在學(xué)習(xí)的專業(yè)課，但是只選取每門課較為基礎(chǔ)的部分，并且在時間上比專業(yè)課略微滯后。這樣在講述這部分內(nèi)容時，由于學(xué)生剛剛在專業(yè)課上學(xué)完相關(guān)知識，記憶猶新，此時再用英語講述，可起到趁熱打鐵之功效。一方面及時鞏固了學(xué)生對專業(yè)知識的掌握，另一方面避免了專業(yè)英語糾纏在解釋專業(yè)知識的泥潭中。第4部分的內(nèi)容，是通過對1-2篇國外雜志的科研論文進(jìn)行講授，使學(xué)生了解專業(yè)論文的寫法、規(guī)范和注意事項等，提高閱讀科研論文的能力。這4部分教學(xué)內(nèi)容的安排，既提高了學(xué)生的學(xué)習(xí)興趣，又對學(xué)生的專業(yè)課學(xué)習(xí)起到很好的促進(jìn)作用，受到學(xué)生的歡迎，大大提高了學(xué)習(xí)興趣。

二、教學(xué)方法的改進(jìn)

由上節(jié)的介紹可知，關(guān)于專業(yè)英語的教學(xué)內(nèi)容，各專業(yè)應(yīng)根據(jù)專業(yè)特點具體制定。即使對同一專業(yè)，由于培養(yǎng)方案和專業(yè)英語開課時機的不同，也應(yīng)選擇不同的授課內(nèi)容。從這個意義上說，專業(yè)英語不需要也不應(yīng)有統(tǒng)一的教材。各專業(yè)應(yīng)視自己的具體情況，選取不同的教學(xué)內(nèi)容，并且應(yīng)隨培養(yǎng)方案的變更而變更，但即使不需統(tǒng)一的教材，在教學(xué)方法上，也可采用一些共同的措施。

首先是選用書面教材或電子教材的問題。專業(yè)英語的教材，通常是教師從網(wǎng)上搜集相關(guān)的英文文獻(xiàn)，加以系統(tǒng)整理后，首先形成一個電子版的形式。因而部分教師就直接采用電子版教材，通過投影的方式進(jìn)行授課。但根據(jù)我們的經(jīng)驗，電子版教材十分不利于專業(yè)英語的教學(xué)。這是因為根據(jù)對大量學(xué)生的調(diào)查結(jié)果，他們習(xí)慣于將書擺在面前進(jìn)行閱讀，同時用筆在書中圈點或注釋。而那種對著投影屏閱讀的方式，對學(xué)生來講既不習(xí)慣也易勞累。因此必須將電子版教材打印出來，通過復(fù)印的方式，發(fā)到每一個學(xué)生手中，這樣才能保證較好的閱讀效果。

其次是授課方式的選擇。通常有兩種做法，一是教師直接朗讀和翻譯；二是學(xué)生翻譯，并由教師做點評。第一種做法便于掌握教學(xué)進(jìn)度，對較難的句子和段落比較適合。但這樣容易造成學(xué)生表面上在教師的帶領(lǐng)下讀懂了某個文獻(xiàn)，而在獨立閱讀的時候，則又困難重重。第二種做法提高了學(xué)生的參與性，使其能真正地認(rèn)識到自己的不足之處，從而找準(zhǔn)提高和改進(jìn)的方向，教學(xué)效果明顯。但是由于學(xué)生個體的差異，這種方法無法保證教學(xué)進(jìn)度，特別是遇到閱讀能力較差的學(xué)生，將導(dǎo)致嚴(yán)重的拖課。我們在教學(xué)中將兩種方法結(jié)合起來，同時以第二種做法為主。為避免拖課，采用了兩個措施：一是當(dāng)遇到較難的句子時，采取第一種授課方式，由教師講解和分析；二是在最開始授課時，讓全班每個學(xué)生都快速地翻譯一小段英文，大概摸清每個學(xué)生的英文水平，在以后的授課中，適當(dāng)安排每節(jié)課進(jìn)行翻譯的學(xué)生組合，從而較好地控制了教學(xué)進(jìn)度。在學(xué)生翻譯的過程中，我們主動走下講臺，站到學(xué)生中間，以拉近距離，表明教師在仔細(xì)聆聽，增加學(xué)生的成就感。同時及時點評，對學(xué)生的優(yōu)缺點進(jìn)行恰當(dāng)?shù)姆治觯瑢σ恍┕残缘膯栴}，再回到講臺上進(jìn)行專門地舉例和分析。通過這種方式，學(xué)生非常樂意主動進(jìn)行翻譯，并且課堂氣氛輕松活躍，教學(xué)效果良好。

三、結(jié)束語

我們對重慶郵電大學(xué)微電子專業(yè)英語的教學(xué)內(nèi)容和教學(xué)方法進(jìn)行了探索和改革，使得本課程既輕松有趣，同時又對專業(yè)學(xué)習(xí)起到了良好的促進(jìn)作用，提高了學(xué)生的積極性，獲得了較好的教學(xué)效果。我們將繼續(xù)進(jìn)行專業(yè)英語寫作和課后作業(yè)安排方面的教學(xué)研究，以獲得更好的教學(xué)效果。

參考文獻(xiàn)：

[1]蔣磊．關(guān)于專業(yè)英語學(xué)科性質(zhì)定位的思考[J].山東外語教學(xué)，1998，（3）.

篇10

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